DRYVAC是新推出的干式壓縮真空泵，根據(jù)應(yīng)用特點泵可配置不同組件。DRYVAC系列為滿足光電、顯示器和加工工業(yè)應(yīng)用特點而專門開發(fā)。
產(chǎn)品詳情
螺桿真空泵-DRYVAC DV系列基本參數(shù)：
抽速：450～5000m3/h
真空度：＜0.005mbar
電機功率：11～30KW
噪音：65dB(A)
冷卻方式：水冷
技術(shù)參數(shù)表[50Hz] | DRYVAC DV |
| ||
DV 450 | DV 650 | DV1200 | DVR5000 C-i | |
DV 450-r | DV 650-r | DV1200 ATEX | DVR5000 S-i | |
DV 450 S | DV 650 S | DV1200 S-i | DVR5000 i | |
抽氣速率[m3/h] | 450 | 650 | 1250 | 3800 |
大壓力差[mbar] | ≤5*10-3 | ≤5*10-3 | ≤5*10-3 | ≤5*10-4 |
螺桿真空泵-DRYVAC DV系列基本特點：
1、泵為完全密封結(jié)構(gòu)，對外只有無磨損的O圈靜密封，消除泄漏可能，適用于敏感性工藝。
2、尺寸緊湊，占地面積小高度低，進氣口三個方向可選，非常方便集成入整體系統(tǒng)/設(shè)備中。
3、優(yōu)化的螺桿/電機設(shè)計，使其成為目前市場上省電的螺桿泵，低于10mbar運行<7Kw(DV650)。
4、泵為變頻器控制，集成了溫度、排氣壓強、電流、吹掃氣壓力等監(jiān)控保護，提高運行可靠性。
5、水冷泵向環(huán)境散熱少，噪音低，操作簡單。
6、極少的維護保養(yǎng)需求和運行成本，可靠性大、靈活性和系統(tǒng)正常運行時間。
螺桿真空泵-DRYVAC DV典型運用：
薄膜太陽能——SiN, ZnO, α-Si/?-Si, CdTe, CIS/CIGS,,etc.
晶硅太陽能——PECVD,拉晶和鑄錠
進出片室LL&ULL
顯示器和玻璃鍍膜
耐磨涂層技術(shù)
卷繞鍍
真空爐和熱處理
真空干燥
電子束焊接
空間模擬
科研領(lǐng)域
