ULVAC愛發(fā)科NB系列羅茨真空泵
羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設(shè)計的。
特長
結(jié)凈的真空
腔體內(nèi)沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。
能在高吸入壓強下運轉(zhuǎn)
選用比標準電機容量大一級的電機，即可實現(xiàn)在高吸入壓強下的運轉(zhuǎn)。
用途
照明、電子、光學、半導體
鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐
分析儀器、檢漏設(shè)備，CO2激光設(shè)備

機 型			NB100A	NB300A	NB600A	NB1200A
項 目
抽氣速率*3    m3/h（L/min）		50Hz	95(1580)	280(4670)	500(8330)	1000(16667)
		60Hz	115(1920)	330(5500)	600(10000)	1200(20000)
大吸入壓力      Pa (連續(xù)運轉(zhuǎn)時)		50Hz	1.3×103	1.2×103	1.3×103
		60Hz	1.3×103	9.3×102	1.1×103
大允許壓力差    Pa (排出壓力-吸入壓力)		50Hz	8.0×103	4.0×103	7.3×103
		60Hz	6.7×103	3.3×103	6.0×103
極限壓力          Pa*1			4.0×10‐1			6.7×10‐1
標準粗抽泵			GLD-N280 VDN301	VDN401	VSN1501 VSN2401	VSN1501 VSN2401
電    機	kW (極) *2 *4		0.4（2）	0.75（2）	2.2（2）	3.7(2)
	V-Hz		380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz
使 用 油			ULVOIL® R-4
所需油量          L			0.35	0.70	1.50	1.90
冷卻水量          L/min*6			空 冷	2 *5	2	3
進水壓力          MPa			－		0.3
進出水壓差        MPa			－	0.05	0.1
重    量          kg			24	49	77.5	110
吸氣口徑 (JIS B 2290)			相當 VG50	相當 VG80	相當VG80	相當VG100
排氣口徑 (JIS B 2290)			相當VF50	相當VF80	相當VF80	相當VF80

*1  用皮拉尼真空計測量的值，如用麥氏真空計測量，則為4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而NB1200A則為6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。
*2  電源為AC380V、50Hz、三相。
*3  隨粗抽泵的性能而變化，表中為標準泵的組合的數(shù)據(jù)。
*4  NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機。
*5  對于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa(4Torr)以上進行連續(xù)運轉(zhuǎn)必須用水冷。 
*6  冷卻水溫為5～30℃。