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EPX系列干泵維修

產(chǎn)品參數(shù)/ Product parameter

EPX系列干泵

概述

新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運(yùn)行成本更低。EPX500 使用了獨(dú)特的保護(hù)機(jī)械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX500 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列,可提供卓越的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。 

應(yīng)用

EPX 系列涵蓋廣泛的應(yīng)用,從水處理到中度工作負(fù)載的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負(fù)荷鎖定)且通過制程機(jī)臺(tái)接口提供控制的清潔工作應(yīng)用。

功能和優(yōu)勢(shì)

緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一,EPX 顯著節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節(jié)省了前級(jí)管道和安裝成本,如果需要也可遠(yuǎn)程安裝。

低運(yùn)行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可大化功率效率。

獨(dú)特的保護(hù)機(jī)械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力,并可以在所有進(jìn)氣口壓力下連續(xù)工作。

超清潔機(jī)械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤(rùn)滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。

非??煽?nbsp;– EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的 IPX 技術(shù),具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 年維修一次,大程度地延長(zhǎng)了泵的使用壽命。

可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有終用戶控制,可以連接到各種結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò),以進(jìn)行診斷監(jiān)視和控制。 

技術(shù)數(shù)據(jù) 

 

EPX180

EPX500

峰值速度

170 m3h-1

500 m3h-1

 

105 ft3min-1

295 ft3min-1

 

2835 l min-1

8338 l min-1

極限真空

 

 

 

<1 x 10-4 mbar

<1 x 10-6 mbar

 

<7.5 x 10-5 Torr

<7.5 x 10-7 Torr

 

<1 x 10-2 Pa

<1 x 10-4 Pa

預(yù)熱時(shí)間(達(dá)到標(biāo)稱性能)

30 分鐘

30 分鐘

入口法蘭

ISO63

ISO160

出口法蘭

NW25

NW25

噪音 

<59 dB(A)

<59 dB(A)

小冷卻水流速

2 l m-1

2 lmin-1

冷卻水溫度

15 – 35 °C

15 – 35°C

電源供給

200/208 V50/60 Hz 三相

200/208 V,50/60 Hz 三相

極限功率

1.4 kW

1.4 kW

電機(jī)額定功率

3.0 kW

3.0 kW

TIM

C3

SPI

重量

43.5 kg

45.2 kg

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